发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07235507(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940027100 申请日期 1994.02.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAMADA TOSHIRO
分类号 H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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