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发明名称
REFLECTOR TYPE ALIGNER
摘要
申请公布号
JPH07235476(A)
申请公布日期
1995.09.05
申请号
JP19940026639
申请日期
1994.02.24
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OE ATSUSHI
分类号
G03B27/53;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03B27/53
代理机构
代理人
主权项
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