发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07235607(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940025818 申请日期 1994.02.24
申请人 NEC CORP 发明人 INOUE AKIRA;FUJII KUNIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L23/52;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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