发明名称 TWO-HOT-ZONE LOW PRESSURE CHEMICAL DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR950007250(Y1) 申请公布日期 1995.09.04
申请号 KR19920016610U 申请日期 1992.09.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, KIL - KWANG;AN, YONG - CHOL;JONG, U - IN
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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