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经营范围
发明名称
RESIST COATER
摘要
申请公布号
JPH07235468(A)
申请公布日期
1995.09.05
申请号
JP19940024094
申请日期
1994.02.22
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NISHIGAKI HISASHI
分类号
G03F7/16;B05C9/14;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
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