发明名称 MATERIALES DE ALIMENTACION DE DEPOSITO Y MATERIALES DE DOPADO UTILIZADOS EN LA FABRICACION DE LAS ALEACIONES DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO PARA DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS Y OTROS DISPOSITIVOS SEMI-CONDUCTORES.
摘要 COMPUESTOS QUE TIENEN LA FORMULA (MX3)NM''X4-N, EN LA QUE M Y M'' SON ATOMOS DIFERENTES DEL GRUPO 4A, POR LO MENOS UNO DE M Y M'' ES SILICIO, X ES HIDROGENO, HALOGENO O MEZCLAS DE ESTOS, Y N ES UN ENTERO ENTRE 1 Y 4 INCLUSIVE, SON UTILES COMO MATERIALES PARA ALIMENTACION DE DEPOSICION EN LA FORMACION DE ALEACIONES DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO, EMPLEADAS EN LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS Y OTROS ELECTRONICAMENTE ACTIVOS. DOPANTES QUE TIENEN LA FORMULA (SIX3)MLX3-M, EN LA QUE L ES UN ATOMO DEL GRUPO 5A, ELEGIDO DEL GRUPO DE FOSFORO, ARSENICO, ANTIMONIO Y BISMUTO, X ES HIDROGENO, HALOGENO O MEZCLAS DE ESTOS Y M ES UN ENTERO ENTRE 1 Y 3 INCLUSIVE, SON UTILES PARA LA FABRICACION DE ALEACIONES DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO, DOPADO NEGATIVAMENTE, EMPLEADAS EN LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS Y OTROS ELECTRONICAMENTE ACTIVOS. DOPANTES QUE TIENEN LA FORMULA YJX2, EN LA QUE Y ES HALOGENO O CARBONILO, J ES UN ATOMO DEL GRUPO 3A, Y X ES HIDROGENO, HALOGENO O MEZCLAS DE ESTOS, SON UTILES PARA LA FORMACION DE ALEACIONES DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO, DOPADO POSITIVAMENTE, EMPLEADAS EN LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS FOTOVOLTAICOS Y OTROS ELECTRONICAMENTE ACTIVOS.
申请公布号 ES2074041(T3) 申请公布日期 1995.09.01
申请号 ES19870102090T 申请日期 1987.02.13
申请人 SOLAREX CORPORATION 发明人 DICKSON, CHARLES ROBERT
分类号 H01L31/04;H01L21/205;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/18;H01L31/02;C23C16/24 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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