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发明名称 PLASMA ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR950009936(B1) 申请公布日期 1995.09.01
申请号 KR19860002789 申请日期 1986.04.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 TRACY, DAVID H.;BALISTEE, BRIAN G.
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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