Fosfatsammensetninger og fremg. særlig for anv. i fremst. av trykkede kretser som utnytter organiske dekkmidler (Resister)

摘要

Sammensetninger og fremgangsmåter for å skaffe tilveie et fosfatomdannlngsbelegg på en metalloverflate, særlig en kobberoverflate er kjennetegnet ved at fosfaterlngs- sammensetningen Innbefatter minst en sammensetnlngs- oppløsellg forbindelse som inneholder vanadium, niobj wolfram og tantal .. Fosfatomdanningsbeleggene som blir fremstilt er tykkere, mer holdbare og Jevnere enn de som blir fremstilt ved kjente fosfaterlngssam- mensetninger. Sammensetningene og fremgangsmåtene er særlig nyttige for å skaffe tilvele passlvlserende/- unlformerende belegglag på kobberoverflater til hvilke organisk harpiks deretter blir avsatt for å tjene som en reslst i trykkede kretsfremstillingssekvenser, særlig når den organiske harpiksen er en elektrofore- tisk avsatt organisk harpiks. Det ble også beskrevet mlkroetsing av kobberoverflater med en fosforsyre/- peroksidmikroetsemiddel for avsetning derpå (eller etter en ytterligere tilveiebringelse av et fosfatom- danningsbelegg) av en fotoresist som deretter blir eksponert og fremkalt for å skaffe tilvele en mønstret resist.