发明名称 Verfahren zur Reinigung von gasförmigen organometallischen Verbindungen.
摘要
申请公布号 DE69202014(T2) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19926002014T 申请日期 1992.07.08
申请人 JAPAN PIONICS CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIMADA, TAKASHI, C/O JAPAN PIONICS CO., LTD, HIRATSUKA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;IWATA, KEIICHI, C/O JAPAN PIONICS CO., LTD, HIRATSUKA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;YASUDA, MASAKO, C/O JAPAN PIONICS CO., LTD., HIRATSUKA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 B01D53/02;C07F3/06;C07F5/00;C07F5/06;C23C16/18;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
地址