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发明名称 Filme aus phosphorlegiertem, kubischem Bornitrid.
摘要
申请公布号 DE69203634(D1) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19926003634 申请日期 1992.02.26
申请人 GENERAL MOTORS CORP., DETROIT, MICH., US 发明人 DOLL, GARY LYNN, SOUTHFIELD, MI 48076, US;BAUCOM, KEVIN C., ALBURQUERQUE, NM 87111, US
分类号 C23C14/06;C23C14/34;C30B23/02;C30B29/38;H01L21/203;(IPC1-7):C30B29/38;C30B29/40;C30B29/64;C23C16/30;C01B21/06 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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