发明名称 Lagesignalgeber.
摘要
申请公布号 DE69109220(T2) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19916009220T 申请日期 1991.09.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 TAKEUCHI, HIROYUKI, MIYAMAE-KU, KAWASAKI, JP;YAMAMOTO, MASAKI, SUGINAMI-KU, TOKYO, JP;SATO, TAKEO, TAMA-KU, KAWASAKI, JP;SUGIYAMA, YOSHIYUKI, AYASE-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;AOKI, SHINICHIRO, TAMA-KU, KAWASAKI, JP
分类号 G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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