发明名称 Vorrichtung zum Vakuum-Aufdampfen von einer sublimierbaren Substanz.
摘要
申请公布号 DE69111593(D1) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19916011593 申请日期 1991.12.20
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAGUCHI, TOSHIO, MITSUBISHI JUKOGYO K.K., HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA-KEN, JP;SUEDA, MINORU, MITSUBISHI JUKOGYO K.K., HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA-KEN, JP;HOSHI, YOUNOSUKE, MITSUBISHI JUKOGYO K.K., HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA-KEN, JP;KAMIKAWA, SUSUMU, MITSUBISHI JUKOGYO K.K., HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA-KEN, JP
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24;C23C14/26 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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