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发明名称 Tin deposition method
摘要
申请公布号 IL113882(D0) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 IL19950113882 申请日期 1995.05.26
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人
分类号 C23C14/00;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58;C23C16/14;C23C16/56;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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