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发明名称 Einrichtung für Oberflächeninspektionen.
摘要
申请公布号 CH685650(A5) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 CH19910002154 申请日期 1991.07.20
申请人 TENCOR INSTRUMENTS 发明人 MALIN, COSMAS G.;STEIGMEIER, EDGAR F.;NESENSOHN, THOMAS;SAWATZKI, HARRY L.;AUDERSET, HEINRICH
分类号 G01B11/30;G01M11/02;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/93;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/10;G11B5/84;G11B7/26;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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