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发明名称 Vorrichtung für die Wärmebehandlung und den Transport von Substraten.
摘要
申请公布号 DE59203041(D1) 申请公布日期 1995.08.31
申请号 DE19925003041 申请日期 1992.11.06
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 LATZ, RUDOLF, DR., W-6074 RODGAU 2, DE
分类号 C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/58;C23C16/46;C23C16/56;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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