发明名称 A wafer basket.
摘要
申请公布号 EP0520105(B1) 申请公布日期 1995.08.30
申请号 EP19910305897 申请日期 1991.06.28
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 OGINO, NOBUYOSHI
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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