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经营范围
发明名称
A wafer basket.
摘要
申请公布号
EP0520105(B1)
申请公布日期
1995.08.30
申请号
EP19910305897
申请日期
1991.06.28
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
发明人
OGINO, NOBUYOSHI
分类号
H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
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