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发明名称 Arc discharge coating apparatus with auxiliary ionization anode.
摘要
申请公布号 EP0534066(B1) 申请公布日期 1995.08.30
申请号 EP19920110914 申请日期 1992.06.27
申请人 METAPLAS OBERFLAECHENVEREDELUNGSTECHNIK GMBH 发明人 VETTER, JOERG;SCHMIDT-MAUER, MANFRED;MATENTZOGLU NIKOLAUS
分类号 C23C14/02;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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