Apparatus for handling semiconductor wafers.,申请号EP19900111561-传众专利搜索

发明名称	Apparatus for handling semiconductor wafers.
摘要
申请公布号	EP0405301(B1)	申请公布日期	1995.08.30
申请号	EP19900111561	申请日期	1990.06.19
申请人	APPLIED MATERIALS INC.	发明人	MURDOCH, STEVEN
分类号	H01L21/677;B65G49/07;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
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