| 发明名称 |
SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07229906(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940043389 |
申请日期 |
1994.02.18 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MIYAMOTO MASAHIKO;KURODA AKIRA;AIHARA KATSUNORI |
| 分类号 |
G01N37/00;G01Q40/00;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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