| 发明名称 |
MULTICHAMBER SYSTEM AND ITS CONTROL METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07230942(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940021636 |
申请日期 |
1994.02.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHIKAWA KATSUHIKO;SAITO YOSHIO;OKUDAIRA SADAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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