发明名称 EDGE POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH07229715(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940047671 申请日期 1994.02.21
申请人 KEYENCE CORP 发明人 HAMAMOTO MORIHITO;KUSANAGI TETSUYA
分类号 G01B11/00;G01B11/08;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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