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发明名称 ETCHING DEVICE AND METHOD OF TREATING CONCENTRATED PHOSPHORIC ACID
摘要
申请公布号 JPH07230981(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940018763 申请日期 1994.02.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATARAI YUTAKA
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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