发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07231089(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940019580 申请日期 1994.02.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 ONO MASAHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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