| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07230962(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940019060 |
申请日期 |
1994.02.16 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TANAKA YASUHITO;YAGINUMA SADAHIRO;MIURA TSUKASA |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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