| 发明名称 |
LIGHTING DEVICE AND PROJECTION EXPOSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07230949(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940041998 |
申请日期 |
1994.02.16 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAHASHI KAZUHIRO;SHIOZAWA TAKANAGA |
| 分类号 |
B41J2/465;B41J2/47;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B41J2/465 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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