| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07231043(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940021634 |
申请日期 |
1994.02.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ARAI KOICHI;ONOZAWA KAZUNORI;RYU NOBUHIRO;TAKAHASHI SATORU |
| 分类号 |
H01L21/8222;H01L21/8228;H01L21/8248;H01L27/06;H01L27/082;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L21/8222 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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