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发明名称 Fremgangsmåde til påføring af et lag af superledende materiale og et apparat der er egnet dertil
摘要
申请公布号 DK0392630(T3) 申请公布日期 1995.08.28
申请号 DK19900200882T 申请日期 1990.04.10
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 DENEFFE, KRISTIN;BORGHS, GUSTAAF REGINA
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/28;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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