发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR950009810(B1) 申请公布日期 1995.08.28
申请号 KR19870010080 申请日期 1987.09.11
申请人 HITACHI LTD.;HITACHI MICROCOMPUTER ENGINEERING LTD. 发明人 OKUYAMA, KOSUKE;UCHIDA, KEN;KUSUYAMA, KOICHI;MEGURO, SATOSHI;KATTO, HISAO;KOMORI, KAZUHIRO
分类号 H01L27/112;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L27/112;H01L27/04 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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