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发明名称 Heterodyn-Interferometer Einrichtung.
摘要
申请公布号 DE69111432(D1) 申请公布日期 1995.08.24
申请号 DE1991611432 申请日期 1991.05.24
申请人 HEWLETT-PACKARD CO., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 WILKENING, GUENTHER, DR., W-3300 BRAUNSCHWEIG, DE;HOU, WENMEI, DR., CH-3004 BERN, CH
分类号 G01B9/02;G01J9/04;(IPC1-7):G01J9/04 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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