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发明名称 Erzeugungsmethode einer CVD-Silizium-Oxynitridschicht.
摘要
申请公布号 DE69108837(T2) 申请公布日期 1995.08.24
申请号 DE19916008837T 申请日期 1991.10.15
申请人 KAWASAKI STEEL CORP., KOBE, HYOGO, JP 发明人 SATO, NOBUYOSHI, C/O KAWASAKI STEEL CORPORATION, CHIBA CITY, CHIBA PREF., JP
分类号 H01L21/318;C23C16/30;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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