发明名称
摘要
申请公布号 JPH0779126(B2) 申请公布日期 1995.08.23
申请号 JP19890140910 申请日期 1989.06.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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