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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0779129(B2) 申请公布日期 1995.08.23
申请号 JP19900244140 申请日期 1990.09.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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