| 发明名称 |
VACUUM PLASMA TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07226395(A) |
申请公布日期 |
1995.08.22 |
| 申请号 |
JP19940018280 |
申请日期 |
1994.02.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
WATANABE AKIZO;SUZUKI MASAKI;NAKAYAMA ICHIRO;OKUMURA TOMOHIRO |
| 分类号 |
H05H1/16;C23C14/40;C23C16/509;C23F4/04;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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