发明名称 METHOD FOR MAKING INDIUM-TIN OXIDE FILM HIGH IN RESISTANCE
摘要
申请公布号 JPH07224383(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19940085973 申请日期 1994.03.31
申请人 NIPPON SODA CO LTD 发明人 KAWAMURA KIYOSHI;KANDA HIROYUKI;SAITO KAZUNORI;SETA YASUHIRO
分类号 C03C17/245;C23C14/08;C23C14/58;G09F9/30;H01B1/08;(IPC1-7):C23C14/58 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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