| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE AND METHOD FOR MEASURING SPUTTERING FACE OF TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07224377(A) |
申请公布日期 |
1995.08.22 |
| 申请号 |
JP19940017294 |
申请日期 |
1994.02.14 |
| 申请人 |
NEC CORP;NIPPON DENKI FACTORY ENG KK |
发明人 |
SAITOU HIROHISA;HIRAMATSU SHINICHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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