发明名称 INFORMATION RECORDING AND REPRODUCING DEVICE, PROBE SCANNING TYPE MICROSCOPE, MICROFABRICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07225975(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19940017116 申请日期 1994.02.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUKETA YASUSHI;HOSAKA SUMIO;USHIYAMA JUNKO;SHINTANI TOSHIMICHI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/18;G01Q80/00;G01Q90/00;G11B9/06;G11B9/14;G11B11/00;H01J37/28;(IPC1-7):G11B11/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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