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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07226436(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19940016229 申请日期 1994.02.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMADA KANESHIGE
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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