| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07225255(A) |
申请公布日期 |
1995.08.22 |
| 申请号 |
JP19940039081 |
申请日期 |
1994.02.14 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KAWADA YASUO;KUNITOMO HIDEYO |
| 分类号 |
G01R31/26;C23C14/56;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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