发明名称 FORMING METHOD OF CAPACITANCE
摘要
申请公布号 JPH07226484(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19930256573 申请日期 1993.09.20
申请人 YOUZAN:KK;SHARP CORP 发明人 KOTOBUKI KOKURIYOU;TAKATORI SUNAO;YAMAMOTO MAKOTO;OOSAWA CHIKASHI;URUSHIBATA AKIRA
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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