发明名称 |
FORMING METHOD OF CAPACITANCE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH07226484(A) |
申请公布日期 |
1995.08.22 |
申请号 |
JP19930256573 |
申请日期 |
1993.09.20 |
申请人 |
YOUZAN:KK;SHARP CORP |
发明人 |
KOTOBUKI KOKURIYOU;TAKATORI SUNAO;YAMAMOTO MAKOTO;OOSAWA CHIKASHI;URUSHIBATA AKIRA |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|