发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07224380(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19940018337 申请日期 1994.02.15
申请人 MITSUBISHI CHEM CORP 发明人 WATANABE HIROYUKI
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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