| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING TIN DOPED INDIUM OXIDE FILM HIGH RESISTANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07224374(A) |
申请公布日期 |
1995.08.22 |
| 申请号 |
JP19940085972 |
申请日期 |
1994.03.31 |
| 申请人 |
NIPPON SODA CO LTD |
发明人 |
KAWAMURA KIYOSHI;SAITO KAZUNORI;SETA YASUHIRO |
| 分类号 |
C03C17/245;C23C14/08;C23C16/40;H01L21/28;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C03C17/245 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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