| 发明名称 |
MASS FLOW CONTROLLER WITH REVERSE CURRENT PREVENTING FUNCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07225616(A) |
申请公布日期 |
1995.08.22 |
| 申请号 |
JP19940018140 |
申请日期 |
1994.02.15 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
HAYASHI AKIHITO;KAWASHIMA MASAHARU |
| 分类号 |
G05B9/02;G05B9/05;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 |
主分类号 |
G05B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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