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发明名称 Integrated fluid dispense apparatus to reduce contamination
摘要
申请公布号 GB2256851(B) 申请公布日期 1995.08.23
申请号 GB19920010512 申请日期 1992.05.15
申请人 * MOTOROLA INC 发明人 YEFIM * BUKHMAN
分类号 F17D1/08;B01J4/00;B01J4/02;B01J19/18;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 F17D1/08
代理机构 代理人
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