| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND DEVICE FOR PREVENTING DAMAGE TO INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07221306(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940220213 |
申请日期 |
1994.09.14 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MAMENO KAZUNOBU;NAGASAWA HIDEJI;NISHIDA ATSUHIRO;FUJIWARA HIDEAKI;SUZUKI KOJI;YONEDA KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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