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发明名称 IC HANDLER
摘要
申请公布号 JPH07218583(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940010794 申请日期 1994.02.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SHIMIZU ENG KK 发明人 SHIBA HIDEYUKI;SUGIYAMA SHIGEAKI;OGAWA TAKEO
分类号 G01R31/26;B25J13/08;B65D85/86;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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