ION IMPLANTATION METHOD,申请号JP19940026104-传众专利搜索

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发明名称	ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号	JPH07220671(A)	申请公布日期	1995.08.18
申请号	JP19940026104	申请日期	1994.01.28
申请人	SONY CORP	发明人	SUGIMURA SHINICHI
分类号	H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
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