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发明名称 PROBE ALIGNING PLATE, PROBE APPLYING DEVICE, AND PROBE POSITION SENSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07218535(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940011069 申请日期 1994.02.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUJII TOSHIYUKI
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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