发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND ITS PREPARATION
摘要
申请公布号 JPH07221194(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940314700 申请日期 1994.12.19
申请人 S G S THOMSON MICROELECTRON INC 发明人 ROI ENU NIYUUEN;ROBAATO ERU HOTSUJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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