| 发明名称 |
METHOD FOR DISCRIMINATING FALSE INSPECTION OF DEFECT INSPECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07218447(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940011484 |
申请日期 |
1994.02.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI COMPUT ENG CORP LTD |
发明人 |
MATSUKAWA KIYONAGA;TAKAGI KEIJI;MIO SHIGEMI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/94;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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