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经营范围
发明名称
SILICIDE PLUG FORMATION
摘要
申请公布号
JPH07221096(A)
申请公布日期
1995.08.18
申请号
JP19940021886
申请日期
1994.01.24
申请人
ERUJII SEMIKON CO LTD
发明人
ZON SU BIYON
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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